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    摘 要: 根據介質上電潤濕的基本原理,對用于數字微流控系統的“三明治”結構器件中影響液滴輸運和產生的因素進行了理論分析,并研制出了一種新型液滴產生器原型:液體被夾在上下兩個電極板之間;下極板采用硅作為襯底、LPCVD摻雜多晶硅微電極陣列上熱氧化生長的的SiO2薄膜作為介質屋,上極板采用ITO透明導電玻璃板作為地電極;另外,在上下極板的表面都均勻旋轉涂覆了一層30m厚的Teflon薄膜為表面疏水層.實驗結果表明,在空氣氣氛中,該器件在10Hz70V的脈沖電壓下成功地實現了從蓄水池中對去離子水滴的分發.
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